氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪

杰出性能，快速测试ASM 390 和 ASM 392 是优秀的泄漏检测解决方案，可用于半导体和显示器产业以及其他要求很高的应用，这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。两种型号都符合 Semi S2 标准。这些检漏仪都装备干式非接触前级泵和强大的高真空涡轮分子泵，从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392 装有一台额外的涡轮分子泵，可以加速泄漏检测流程，降低生产设备的停机时间。

耐用、精确、可靠ASM 390 和 ASM 392 的开发是基于实现任何等级的操作人员都能上手的设备。他们都可以在最短的时间里提供优秀性能和精确的结果，从而在现场提高效率。符合人机工学且操纵灵敏ASM 390 和 ASM 392 具有同样的平台，人机工学设计独唯，尺寸和高度合适，前部有一辅助手柄，显示器可自由旋转、可拆卸，前部入口易于连接测试端口，可操作性优秀，可用于各种测试场地，即使狭小的空间也应对自如。

精巧智能且用户友好通过色彩清晰的宽屏触摸屏、带模块化隔仓和真空波纹管存储的集成工具箱，在使用地点所有需要的附件无不齐备，您会感叹泄漏检测多么轻松。

应用 ■半导体行业 ■大面积镀膜 ■太阳能行业 ■加速器 ■真空组件 – 馈通、阀门、波纹管、伸缩接头 ■激光技术 ■超纯介质供应 ■电子部件 ■航空工程 ■医疗技术

氦质谱检漏仪技术参数特点ASM 390 ASM 392可检测气体4He、3He、H2氦气最小可检测泄漏率（真空泄漏检测）1 · 10-12 mbar l/s氦气最小可检测泄漏率（吸枪泄漏检测）1 · 10-8 mbar l/s氦气抽速10 l/s 25 l/s前级容量35 m3/h最大入口测试压力20 mbar（可选粗检模式）无校准的启动时间 (20°C) 2 min入口法兰DN 40 ISO-KF响应时间< 1 s接口RS-232，I/O，以太网（查询操作说明以获取更详细信息）噪音水平≤ 55 dB (A)工作温度10-35 °C电源电压100-240 V，50/60 Hz功耗800 W最高功耗1,600 W重量125 kg 130 kg规格（长X宽X高）1,072 x 455 x 1,025 mm配件配件订货号用于 ASM 390 和 ASM 392 的瓶托126561遥控RC10（有线/无线操作，彩色触摸屏）124193基本型带 5 m 的线缆106688三脚快拆扳手 DN 40 KF 118801标准吸枪探头2) 5 m 长软管，9 cm 钢性喷嘴SNC1E1T1外部通讯盒 ECB-Wifi 125902氦气喷枪标准112535喷枪 “Elite" 带附件，装一箱109951入口粉尘过滤器2)黄铜，20 µm，DN 40/40 ISO-KF 105842不锈钢，15 µm，DN 40/40 ISO-KF请咨询1)可以用以太网创建额外的 COM 端口，从而通过计算机操作检漏仪2)可以提供其他配置，请联系您的当地普发真空支持