等离子直流溅射电源

AE Pinnacle 20kW 等离子直流溅射电源，为半导体磁控溅射工艺专用大功率DC脉冲电源，额定输出功率20kW，机架式3U结构，风冷散热；输出电压范围400~1000V，支持连续直流与脉冲DC输出；具备高速电弧检测与抑制功能，低储能设计，有效保护靶材；支持以太网、RS232等多种通讯接口，可与真空镀膜设备PLC系统联动集成；具备过压、过流、过热、短路硬件保护，适用于半导体、光学薄膜、光伏材料真空溅射沉积工艺。

AE Pinnacle III 20kW（MN:31502411-365A，零件号0190-61053-02）完整参数表

AE Pinnacle III 20kW（MN:31502411-365A，零件号0190-61053-02）完整参数表

Advanced Energy（AE）Pinnacle III 20kW 磁控溅射等离子直流/脉冲DC电源，AMAT应用材料镀膜机配套电源

电气参数

项目 规格 

额定输出功率 20kW 

输出模式 连续DC直流 / Pulsed DC脉冲直流（反应溅射专用，抑制靶材起弧） 

输出电压范围 400V ~ 1000V DC 

最大输出电流 20A @1000V 

输入供电 三相AC，可选208 / 400 / 440 / 480VAC 

冷却方式 风冷 Air Cooling 

电弧抑制 高速电弧检测+快速切断，低储能设计，瞬间灭弧保护靶材 

机械规格

• 机箱规格：标准3U全机架安装

• 重量：约32kg

• 前面板：显示屏，可监控功率/电压/电流/故障代码，本地参数设置

通讯与控制

1. 数字接口：以太网LAN、RS232/RS485，支持LXI，PLC上位机自动化控制

2. 模拟控制：0~10V模拟量设定与监测

3. 远程I/O：数字联锁、急停、运行/故障信号，适配真空腔体安全联锁

内置保护功能

• OVP过压保护、OCP过流保护、OTP过热保护

• 输出短路保护、腔体电弧保护、硬件安全联锁

• 故障锁存报警，面板故障代码显示

应用场景

半导体晶圆镀膜、光学薄膜、光伏电池、玻璃基板磁控溅射、反应溅射介质膜沉积，配套AMAT真空溅射设备（图中标签带应用材料AMAT物料编码）

本设备为AE Pinnacle III系列20kW大功率磁控溅射等离子电源，支持连续直流与脉冲DC双输出模式，输出电压400~1000V，最大输出电流20A；三相交流输入，风冷散热，标准3U机架式结构；内置高速电弧检测抑制电路，低储能设计，有效抑制溅射靶材打火；支持LAN、RS232/485数字通讯以及0~10V模拟程控，具备安全联锁接口；硬件集成过压、过流、过热、短路保护；前面板带本地显示与操作，可实时监控功率、电压、电流，适用于半导体、光学薄膜、光伏材料磁控溅射真空沉积工艺。