Keithley 自动化检定套件 (ACS) 软件

用于特性分析的灵活编程方式

ACS的特点是脚本编辑器，这是一个独立的工具，带有图形用户界面，用于开发Python代码和TSP®脚本，进行仪表控制、数据分析和系统自动化操作。其提供创建和开发 GUI 设计以及管理用户库和模块的直观方法。

自动化数据收集过程

ACS的晶圆探针自动化选项使您能够轻松将各种常用的半自动或全自动晶片探针台连接到测试设置中，从而可以快速捕获大量数据。此选项包括晶片描述实用程序、具有晶片评等功能的实时晶片图、暗盒样品计划实用程序以及测试后暗盒和晶片查看实用程序。ACS 内置的许多工具和功能都可以增强设备的自动检定能力。

分享测试项目和结果

ACS提供了一组通用的关键元素，可以跨多种硬件配置工作，从而减少了时间并提高了生产率。系统从一个硬件到另一个硬件实现的执行是一致的，因此，例如，很容易将用于单设备组件表征的基础ACS系统的你的测试结果转移到另一个设计用于晶圆级测试的系统。

限度地提高 Keithley 硬件的生产率

ACS中的工具简化了测试开发流程，限度地提高了与系统相连的每个Keithley仪器的速度。ACS 和 Keithley 基础TSP的硬件一起提供了业界的吞吐量，从而降低了测试成本，不需要您在获得实现目标所需的数据之前花时间学习新的编程概念或语言。

• 专为封装器件（MOSFET、BJT、IGBT、二极管、电阻器等）设计
• 丰富的测试库，无需编程即可快速轻松地设置和执行测试
• 内置数据分析工具，可快速分析参数数据
• 使用自动硬件管理工具简化仪器配置

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查看 ACS 基本版数据表

• 支持以下测试模块：GUI、Lua Script、Python 和 C 语言
• 支持各种仪器和探头，以适应广泛的应用
• 直观的 GUI 简化了 I-V 测试、分析以及从台式测试仪到全自动参数测试仪的结果，以增强用户体验
• 在设备、子站点、站点、晶片和暗盒级别开发和执行测试，以提高测试能力

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查看 ACS 标准版数据表

• 系统配置包括 2 到 44 个通道
• 符合 JEDEC 标准的综合测试套件
• 针对新兴技术和成熟技术进行了优化
• 同时支持顺序测试和并行测试
• 全自动化的单站点和多站点能力
• 兼容所有常用的晶片探头测试台
• 实时绘图和晶片绘制

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查看 ACS WLR 版数据表

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软件的维护通过维护许可证进行。维护许可证可延长软件的 维护期，以便能持续进行软件更新。作为软件本身价格的 一部分，维护是在发布新功能时保持软件得到更新的方式。鉴于订阅已包括整个订阅期内的维护，该许可证 仅适用于性许可证。维护许可证应在维护过期之日或之前应用， 这样才能接收到不间断的软件更新。如果维护确实过期了，通过购买足以 从过期之日接上并延长的许可证 即可轻松延长维护期。与购买的版本相比，以此方式续订维护 可确保以较低的价格获得更新的软件。

注： 性许可证包括一年维护，但是一年后， 每 12 个月将要求使用新的维护许可证才能继续接收更新。

从实验室到晶圆厂的应用

ACS基础版集成测试系统是参数化拣选、高功率半导体器件检定和晶片级可靠性测试等应用的完整解决方案。当配合适合的半自动和全自动探针台，它们的硬件配置和测试项目开发可以很容易地针对特定的任务进行优化。

使用 Keithley 高功率系统 SMU 仪器和 ACS 基础版软件测试功率半导体设备的应用指南

ACS 多站点并行测试集成测试系统应用指南

Increase Reliability Throughput

Reliability tests improve quality, reduce failure rates, ensure high yields, and increase confidence. ACS Software supports Shared Stress methodology for high volume reliability testing, accelerating test times. 

Shared Stress Reliability Testing with ACS Application Note

Ultra-Low Resistance Measurements using Delta Mode

The 2182A/622X combination is well suited for many nanotechnology applications because it can measure resistance without dissipating much power in the device under test (DUT), which would otherwise invalidate results or even destroy the DUT. Perform Delta Mode tests with ACS Software to incorporate these sensitive measurements into a test system.

Keithley Ultra-Low Resistance Configurations Series 6200/2182A

用于GaN HEMT I-V 特性分析的电源时序

由于GaN HEMT的“常开"特性，在进行I-V特性分析时需要一个特定的电源时序。ACS软件支持在不破坏器件本身的I-V特性的情况下，对器件的GaN HEMT特性进行电源时序测试。

GaN HEMT 检定的电源时序应用指南

服务于半导体工作流程中的应用

ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 软件在整个半导体工作流程中均用于对半导体器件进行广泛的测试，以获得详细的检定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的测试系统可提供：

• 在设备、晶圆和暗盒级进行测试
• 灵活的配置、软件和应用程序定制
• 交互式和自动化系统操作
• GUI 和脚本工具的强大组合，用于测试模块开发

开发阶段

ACS Basic Edition 软件于组件和分立（封装）半导体器件的参数测试。该软件运用以下特点，限度地提高了技术人员与工程师在研发方面的生产力：

• 专为封装器件（MOSFET、BJT、IGBT、二极管、电阻器等）设计
• 丰富的测试库，无需编程即可快速轻松地完成测试设置和执行
• 内置数据分析工具，可快速分析参数数据
• 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系统 SourceMeter SMU 仪器

集成阶段

集成阶段使用 ACS Standard Edition 软件进行半自动晶圆测试，包括稳定的过程开发和晶圆级可靠性 (WLR)。该软件可用于 SMU-per-pin 系统级测试。ACS WLR 软件提供以下好处：

• 全自动功能，可测试单个晶圆或整个暗盒
• 可实现灵活的测试设置和并行测试的软件
• 可靠性测试模块 (RTM) 符合 JEDEC 标准测试方法
• 支持创建定制的测试模块/程序

生产阶段

ACS 标准版软件还适用于集成的机架式自动定制测试系统，用于过程控制监控 (PCM)、晶圆验收测试 (WAT) 和晶粒挑拣。ACS Standard 软件中内置的许多工具和功能可增强 设备的自动检定能力：

• 晶圆和暗盒级自动化
• 将设备和测试映射到站点和子站点的测试图
• 交互式探针台控制模式
• 单个或每个晶圆的 Keithley 数据文件